影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。

【名词&注释】

重金属(heavy metal)、光刻胶、高浓度(high-concentration)、抛光液(polishing slurry)、钝化工艺(passivation process)、极低浓度(extremely low concentration)

[多选题]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面（）。

A. 等离子体蚀刻系统的形态
B. 等离子体蚀刻的参数
C. 光刻胶
D. 待蚀刻薄膜的淀积参数条件

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学习资料：

[单选题]抛光液溶液的酸碱性一般为（）。

A. 酸性
B. 中性
C. 碱性
D. 近中性或碱性

[多选题]调整清洁的目的（）。

A. 清洁孔内壁
B. 整孔
C. 去毛刺
D. 去钻污

[单选题]从理论上说，测量电极电位是把待测的电极电位与（）的电极电位加以比较得出的。

A. 标准铂电极
B. 标准铅电极
C. 标准氢电极
D. 标准电极

[单选题]彩色钝化膜的处理方法很多，有低浓度、中等浓度和高浓度的铬酸盐处理液。但是，考虑到环境保护，减少重金属铬污染，（）钝化工艺^{(passivation process)}被广泛地使用。

A. 低浓度铬酸盐
B. 中等浓度铬酸盐
C. 高浓度铬酸盐
D. 以上三种

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