【导读】
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1. [多选题]电化学抛光液(chemical polishing solution)的主要成分在下列选项中有()。
A. 磷酸
B. 硫酸
C. 铬酸
D. 甘油
2. [单选题]鼓泡式蚀刻和浸泡式蚀刻的不同之处在于()。
A. 鼓泡式蚀刻液的酸性更强
B. 鼓泡式蚀刻通入空气
C. 鼓泡式蚀刻液的酸性更强
D. 鼓泡式蚀刻通入氧气
3. [多选题]在碱性氯化铜(copper chloride)蚀刻中,造成蚀刻过度的原因可能有()。
A. 传送速度太慢
B. pH值过高
C. 蚀刻液比重偏低
D. 蚀刻液温度不足
4. [多选题]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式,产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有()。
A. 离子、电子
B. 中性原子
C. 分子
D. 自由基
5. [多选题]霍尔槽试验是分析测定镀液工艺性能的一种方法,主要可以进行()。
A. 确定电流密度
B. 测定镀液成分
C. 分析镀液故障
D. 测定镀液整平性能