集成电路的发展时代分为（）、中规模集成电路MSI、（）、超大规

【名词&注释】

中规模集成电路(medium scale integration)、超大规模集成电路VLSI、小规模集成电路(small scale integrated circuit)

[填空题]集成电路的发展时代分为（）、中规模集成电路MSI、（）、超大规模集成电路VLSI、（）。

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