镀膜时蒸发速率的单位是（）。

【名词&注释】

离子源(ion source)、镀膜机(coating equipment)、电子枪灯丝(electron gun filament)、真空度分布(distribution of vacuum degree)

[填空题]镀膜时蒸发速率的单位是（）。

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学习资料：

[单选题]电子枪“FIL”灯变红，故障原因是（）。

A. A、电子枪高压线路故障
B. B、真空室底下门没有关好
C. C、电子枪灯丝有问题
D. D、电子枪电流回路故障

[单选题]光驰OTFC镀膜机离子源有（）片栅极片。

A. A、1
B. B、2
C. C、3
D. D、4

[单选题]每台机器安装修正板的目的是（）。

A. A、调整内外排温度分布
B. B、调整机器内的真空度分布^{(distribution of vacuum degree)}
C. C、调整内外排膜厚分布
D. D、调整同圈厚度分布

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