关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。

【名词&注释】

离子注入(ion implantation)、无损伤(no damage)、分析器(analyzer)

[多选题]关于正胶和负胶在显影时的特点，下列说法正确的是（）。

A. 负胶的感光区域溶解
B. 正胶的感光区域溶解
C. 负胶的感光区域不溶解
D. 正胶的感光区域不溶解
E. 负胶的非感光区域溶解

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学习资料：

[单选题]当注入剂量增加到某个值时，损伤量不再增加，趋于饱和。开始饱和的注入剂量称为（）。

A. 临界剂量
B. 饱和剂量
C. 无损伤剂量
D. 零点剂量

[单选题]分析器是一种（）分选器。

A. 电子
B. 中子
C. 离子
D. 质子

[单选题]有机性气体大多产生在下列哪道工艺（）。

A. 离子注入
B. 刻蚀
C. 扩散
D. 光刻

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