半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（）加速到的需要的（），直接

【名词&注释】

半导体(semiconductor)、掺杂剂(dopant)、离子注入掺杂(ionexclusion chromatography implantatio ...)

[填空题]半导体中的离子注入掺杂是把掺杂剂（）加速到的需要的（），直接注入到半导体晶片中，并经适当温度的（）。

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