二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处

【名词&注释】

杂质浓度(impurity concentration)、二氧化硅-硅

[单选题]二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度（）。

A. 降低
B. 增加
C. 不变
D. 先降低后增加

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