【名词&注释】
半导体(semiconductor)、质谱法(mass spectrometry)、带电粒子(charged particle)、红外光谱分析法(infrared spectroscopic analysis method)、最小电导率
[单选题]测量硅中氧浓度常用的方法是().
A. 带电粒子活化法 B. 熔化分析法 C. 离子质谱法 D. 红外光谱分析法