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快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常

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    快速热处理(rapid thermal annealing)

  • [判断题]快速热处理是一种小型的快速加热系统，带有辐射热和冷却源，通常一次处理一片硅片。

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