【名词&注释】
生态环境(ecological environment)、资源利用率(resource utilization)、不符合(inconformity)、能源消耗低(low energy consumption)、利用率高(high utilization)
[单选题]光刻加工的工艺过程为:()
A. ①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗 B. ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散 C. ①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原