切削加工后，引起表面残余应力的主要原因有（），（），（）。

【名词&注释】

塑性变形(plastic deformation)、主要原因(main cause)、离子束刻蚀(ion beam etching)、干法刻蚀(dry etching)

[填空题]切削加工后，引起表面残余应力的主要原因有（），（），（）。

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学习资料：

[单选题]高速加工机床的进给系统机构大多采用（）。

A. 直线电机
B. 滑动丝杠传动机构
C. 摩擦传动机构

[单选题]微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A. 离子束刻蚀、激光刻蚀
B. 干法刻蚀^{(dry etching)}、湿法刻蚀
C. 溅射加工、直写加工

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