硅片减薄腐蚀液为氢氟酸和硝酸系腐蚀液。砷化镓片用（）系、氢氧

【名词&注释】

热力学(thermodynamics)、自由能(free energy)、晶体缺陷(crystal defect)、氢氟酸(hydrofluoric acid)

[填空题]硅片减薄腐蚀液为氢氟酸^{(hydrofluoric acid)}和硝酸系腐蚀液。砷化镓片用（）系、氢氧化氨系蚀腐蚀液。

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学习资料：

[单选题]厚膜元件烧结时，浆料中的固体颗粒由接触到结合、自由表面的收缩、空隙的排除、晶体缺陷的消除等都会使系统的自由能（），从而使系统转变为热力学中更稳定的状态。

A. 降低
B. 升高
C. 保持不变

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