树脂的外形为（）的球状颗粒。

【名词&注释】

半导体(semiconductor)、离子注入(ion implantation)、纯净度(purity)、原子序数(atomic number)、表面平整度(surface planeness)、射程分布(range distribution)、淡红色(faint red)

[单选题]树脂的外形为（）的球状颗粒。

A. 淡黄色或褐色
B. 黑色或棕色
C. 淡红色^{(faint red)}或褐色
D. 淡蓝色或棕色

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学习资料：

[单选题]半导体硅常用的施主杂质是（）。

A. 锡
B. 硫
C. 硼
D. 磷

[多选题]对于非晶靶，离子注入的射程分布^{(range distribution)}取决于（）。

A. 入射离子的能量
B. 入射离子的质量
C. 入射离子的原子序数
D. 靶原子的质量、原子序数、原子密度
E. 注入离子的总剂量

[单选题]为了防止抽气设备对离子注入系统的油污染，可在靶室前增加一个（）或采用无油泵。

A. 液氮冷阱
B. 净化阱
C. 抽气阱
D. 无气泵

[多选题]在半导体工艺中，淀积的薄膜层应满足的参数包含有（）。

A. 均匀性
B. 表面平整度
C. 自由应力
D. 纯净度
E. 电容

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