危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。

【名词&注释】

碱金属(alkali metal)、半导体(semiconductor)、稀有金属(rare metal)

[单选题]危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。

A. 2族金属
B. 碱金属
C. 合金金属
D. 稀有金属

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学习资料：

[单选题]钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

A. 替位式
B. 间隙式
C. 施主
D. 可能是替位式也可能是间隙式

[多选题]在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。

A. 电路图形结构的凹凸
B. 尺寸大小
C. 位置分布
D. 高度
E. 密集程度

[单选题]复合床和混合床可以串联使用。复合床就是指将阳树脂和阴树脂分别装在两个（）内串接起来。

A. 交换柱
B. 混合床
C. 混合柱
D. 复合柱

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