【导读】
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1. [单选题]光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()。
A. 电子束曝光技术 B. 离子束曝光技术 C. X射线曝光技术
2. [单选题]下列不是制造自动化分系统的是()。
A. 机械加工系统 B. 控制系统物 C. 质量保证子系统(quality control subsystem)d.监控系统