【名词&注释】
光刻胶、电流密度(current density)、去离子水(deionized water)、安全问题(security problem)、化学药品(chemicals)、性问题(sex problem)、锡铅合金镀层(sn-pb coating)
[填空题]造成锡铅合金镀层(sn-pb coating)粗糙的原因可能是电流密度太()。
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学习资料:
[多选题]湿法蚀刻具有以下哪些缺点()。
A. 化学药品处理时人员会遭遇的安全问题
B. 反应溶液及去离子水需花费较高成本
C. 光刻胶会产生附着性问题(sex problem)
D. 蚀刻不均匀
[多选题]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A. 等离子体蚀刻系统的形态
B. 等离子体蚀刻的参数
C. 光刻胶
D. 待蚀刻薄膜的淀积参数条件
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