thermal conductivity gauge的意思是（）。

【名词&注释】

光刻胶、热传导(heat conduction)、单晶硅(single crystal silicon)、继电保护装置(relay protection device)、离子计(iontoquantimeter)、残留物(residue)、铜合金(copper alloy)、洛仑兹力(lorentz force)、工作中、感光剂(photosensitizer)

[单选题]thermal conductivity gauge的意思是（）。

A. 离子计
B. 热传导真空计
C. 放电型真空计
D. 麦克劳式真空计

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学习资料：

[多选题]光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。

A. 树脂
B. 感光剂^{(photosensitizer)}
C. HMDS
D. 溶剂
E. PMMA

[单选题]在实际工作中，常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。

A. 长度
B. 深度
C. 宽度
D. 表面平整度

[单选题]离子束垂直进入均匀的正交磁场后，将同时受到电场力和（）的作用。

A. 洛仑兹力^{(lorentz force)}
B. 反向的电场力
C. 库仑力
D. 重力

[单选题]为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

A. 多晶硅
B. 单晶硅
C. 铝硅铜合金^{(copper alloy)}
D. 铜

[单选题]由静电释放产生的电流泄放最大电压可以达（）。

A. 几伏
B. 几十伏
C. 几百伏
D. 几万伏

[多选题]净化室里废气收集管系统分为两类，分别是（）。

A. 一般排气系统
B. 特殊排气系统
C. 制程排气系统
D. 专用排气系统
E. 排气排水系统

[单选题]为了保证保护装置能可靠地动作，27.5A的接地电流只能保证断开动作电流不超过多少的继电保护装置。（）

A. 18.3A
B. 13.8A
C. 11A
D. 9.2A

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