【名词&注释】
分布不均匀(uneven distribution)、电子枪灯丝(electron gun filament)、膜层附着力
[多选题]油扩散泵上面加冷阱,其作用是()。
A. 防止扩散油分子回流到真空室 B. 加快排氣速度 C. 防止杂物掉入扩散泵 D. 提高膜层附着力