腐蚀V形槽一般采用（）的湿法化学腐蚀方法。

【名词&注释】

各向异性(anisotropy)、电路设计(circuit design)、逻辑设计(logic design)、离子源(ion source)、离子束(ion beam)、原子束(atomic beam)

[填空题]腐蚀V形槽一般采用（）的湿法化学腐蚀方法。

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[单选题]说明构成每个单元所需的基本门和基本单元的集成电路设计过程叫（）：

A. A、逻辑设计
B. B、物理设计
C. C、电路设计
D. D、系统设计

[单选题]从离子源引出的是：（）

A. A、原子束^{(atomic beam)}
B. B、分子束
C. C、中子束
D. D、离子束^{(ion beam)}

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