钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

【名词&注释】

物理性能(physical properties)、半导体(semiconductor)、电阻率(resistivity)、离子注入(ion implantation)、金属材料(metal materials)、成品率(yield)

[单选题]钠、钾等大离子在二氧化硅结构中是（）杂质。

A. 替位式
B. 间隙式
C. 施主
D. 可能是替位式也可能是间隙式

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学习资料：

[多选题]为了满足半导体器件对金属材料^{(metal materials)}的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料^{(metal materials)}应该满足（）。

A. 低电阻率
B. 易与p或n型硅形成欧姆接触
C. 可与硅或二氧化硅反应
D. 易于光刻
E. 便于进行键合

[单选题]用高能粒子从某种物质的表面撞击出原子的物理过程叫（）。

A. 蒸镀
B. 离子注入
C. 溅射
D. 沉积

[多选题]沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。

A. 功能
B. 成品率^(yield)
C. 物理性能
D. 电学性能
E. 外观

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