集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标

【名词&注释】

集成电路(integrated circuit)、工艺水平(process level)

[填空题]集成电路的特征尺寸是衡量集成电路加工工艺水平和（）的主要指标。

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