抛光片的电学参数包括电阻率，载流子浓度，迁移率，直径、厚度、

【名词&注释】

迁移率(mobility)、绝缘体(insulator)、水溶液(aqueous solution)、载流子浓度(carrier concentration)、抛光片(polishing pellets)

[判断题]抛光片^{(polishing pellets)}的电学参数包括电阻率，载流子浓度，迁移率，直径、厚度、主参考面等。（）

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学习资料：

[单选题]属于绝缘体的正确答案是（）。

A. 金属、石墨、人体、大地
B. 橡胶、塑料、玻璃、云母、陶瓷
C. 硅、锗、砷化镓、磷化铟
D. 各种酸、碱、盐的水溶液

[多选题]硅外延生长工艺包括（）。

A. 衬底制备
B. 原位HCl腐蚀
C. 生长温度，生长压力，生长速度
D. 尾气的处理

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