电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，

【名词&注释】

单晶硅(single crystal silicon)、准确度(accuracy)、多晶硅(polysilicon)、自动记录(automatic recording)、氯化物(chloride)、远距离(remote)、等离子体刻蚀(plasma etching)、表面残留物(surface residue)、使用方便(easy to use)、硅铜合金

[多选题]电气测量技术的应用所以能在现代各种测量技术中占有重要的地位，是因为它具有很多优点，主要有：（）。

A. 电气测量仪表的结构简单，使用方便^{(easy to use)}
B. 电气测量仪表有足够的准确度
C. 电气测量仪表可以灵活地安装在需要进行测量的地方，并可实现自动记录
D. 可以解决远距离的测量问题，为集中管理和控制提供了条件
E. 能利用电气测量的方法对非电量（如温度、压力、速度、水位及机械变形等）进行测量

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学习资料：

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。

A. 600～750℃
B. 900～1050℃
C. 1100～1250℃
D. 950～1100℃

[单选题]为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀^{(plasma etching)}之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物^{(surface residue)}。

A. 多晶硅
B. 单晶硅
C. 铝硅铜合金
D. 铜

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