【导读】
必典考网发布电化学工程题库2022试题剖析(07.19),更多电化学工程题库的答案解析请访问必典考网化学工程题库频道。
1. [多选题]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。
A. 等离子体蚀刻系统的形态 B. 等离子体蚀刻的参数 C. 光刻胶 D. 待蚀刻薄膜的淀积参数条件