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电化学工程题库2022试题剖析(07.19)

来源: 必典考网    发布:2022-07-19     [手机版]    
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导读

必典考网发布电化学工程题库2022试题剖析(07.19),更多电化学工程题库的答案解析请访问必典考网化学工程题库频道。

1. [多选题]影响等离子体蚀刻特性好坏的因素包括以下几个方面()。

A. 等离子体蚀刻系统的形态
B. 等离子体蚀刻的参数
C. 光刻胶
D. 待蚀刻薄膜的淀积参数条件


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