硅片上的氧化物主要通过（）和（）的方法产生，由于硅片表面非常

【名词&注释】

氧化物(oxide)

[填空题]硅片上的氧化物主要通过（）和（）的方法产生，由于硅片表面非常平整，使得产生的氧化物主要为层状结构，所以又称为（）。

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