金属的自然腐蚀会造成巨大的经济损失。

【名词&注释】

自由基(free radical)、经济损失(economic loss)、碱性氯化铜蚀刻液

[判断题]金属的自然腐蚀会造成巨大的经济损失。

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[多选题]下列为碱性氯化铜蚀刻液特点的有（）。

A. 蚀刻速率快
B. 蚀刻速率比较容易控制
C. 溶铜量大
D. 再生容易

[多选题]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

A. 离子、电子
B. 中性原子
C. 分子
D. 自由基

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