干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是

【名词&注释】

干法刻蚀(dry etching)

[判断题]干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法，湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件，例如大于3微米。

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