换电时先关机械泵，再关预阀，后关扩散泵。

【名词&注释】

镀膜机(coating equipment)、机械泵(mechanical pump)、真空度分布(distribution of vacuum degree)

[判断题]换电时先关机械泵，再关预阀，后关扩散泵。

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学习资料：

[多选题]镀膜机球罩的转动架须高速转动的目的是（）

A. A、使同圈的膜层厚度分布均匀
B. B、使内外排膜层厚度分布均匀
C. C、使同圈温度分布均匀
D. D、使内外排温度分布均匀

[单选题]下列那个符号代表光控（）。

A. A、OPM
B. B、EB
C. C、MBP
D. D、PFC

[单选题]每台机器安装修正板的目的是（）。

A. A、调整内外排温度分布
B. B、调整机器内的真空度分布
C. C、调整内外排膜厚分布
D. D、调整同圈厚度分布

[单选题]如果加热板下方的温度探头移位，比正常时要低许多，结果镜片温度将会：（）

A. A、比正常时低
B. B、比正常时高
C. C、基本不变
D. D、划破镜片

[多选题]晶振不好会导致以下哪些结果（）。

A. A、整罩分光特性超差
B. B、均匀性不好
C. C、表面不好
D. D、膜层牢固度不好

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