除油的原理包括（）。

【名词&注释】

自由基(free radical)

[多选题]除油的原理包括（）。

A. 相似相溶原理
B. 皂化作用
C. 乳化作用
D. 空化作用

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学习资料：

[多选题]干法蚀刻通常指利用辉光放电方式，产生等离子体来进行图案转移的蚀刻技术。其中等离子体含有（）。

A. 离子、电子
B. 中性原子
C. 分子
D. 自由基

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