晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

【名词&注释】

附着力(adhesion)、有利于(beneficial to)、去光刻胶

[多选题]晶片经过显影后进行坚膜，坚膜的主要作用有（）。

A. 除去光刻胶中剩余的溶剂
B. 增强光刻胶对晶片表面的附着力
C. 提高光刻胶的抗刻蚀能力
D. 有利于以后的去胶工序
E. 减少光刻胶的缺陷

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学习资料：

[单选题]降低靶的温度，有利于非晶层的形成，所以临界注入量随之（）。

A. 增大
B. 减小
C. 不变
D. 变为0

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