【名词&注释】
表面质量(surface quality)、机械泵(mechanical pump)
[判断题]手动关机时,关闭扩散泵加热,等冷却50分钟后,需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
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学习资料:
[单选题]流程卡表面质量
A. A、点子大小
B. B、点子比例
C. C、点子间隔
D. D、道子宽度
[单选题]如果加热板下方的温度探头移位,比正常时要低许多,结果镜片温度将会:()
A. A、比正常时低
B. B、比正常时高
C. C、基本不变
D. D、划破镜片
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