离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

【名词&注释】

真空度(vacuum)、离子注入(ion implantation)、砷化氢(arsine)、金属材料(metal materials)、真空蒸发(vacuum evaporation)、磁场强度(magnetic field intensity)、饱和蒸汽压(saturated vapor pressure)、不一定(not always)、干氧氧化(dry oxidation)、扩展电阻技术(spreading resistance technique)

[多选题]离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

A. 砷化氢
B. 二硼化氢
C. 三氟化硼
D. 硅烷
E. 氧气

查看答案&解析 查看所有试题

学习资料：

[多选题]干氧氧化^{(dry oxidation)}法具备以下一系列的优点（）。

A. 生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B. 生长的二氧化硅干燥
C. 生长的二氧化硅结构致密
D. 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E. 生长的二氧化硅掩蔽能力强

[单选题]在确定扩散率的实验中，扩散层电阻的测量可以用（）测量。

A. SIMS技术
B. 扩展电阻技术^{(spreading resistance technique)}
C. 微分电导率技术
D. 四探针技术

[单选题]Torr是指（）的单位。

A. 真空度
B. 磁场强度
C. 体积
D. 温度

[单选题]（）是通过把被蒸物体加热，利用被蒸物在高温时的饱和蒸汽压^{(saturated vapor pressure)}来进行薄膜沉积的。

A. 蒸镀
B. 溅射
C. 离子注入
D. CVD

[单选题]用真空蒸发与溅射法在硅片或二氧化硅膜上涂敷金属材料，是形成电极的（）。

A. 重要步骤
B. 次要步骤
C. 首要步骤
D. 不一定^{(not always)}

[单选题]由于离子交换树脂反应，它既可以去除水中杂质离子，又可以将失效树脂进行处理，恢复交换能力，所以称为（）反应。

A. 置换
B. 化学
C. 不可逆
D. 可逆

本文链接：https://www.51bdks.net/show/55gke5.html