净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。

【名词&注释】

外部环境(external environment)、分子式(molecular formula)

[多选题]净化室将硅片制造设备与外部环境隔离，免受诸如（）的沾污。

A. 颗粒
B. 金属
C. 有机分子
D. 静电释放（ESD）
E. 水

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学习资料：

[单选题]硅烷的分子式是（）。

A. SiF4
B. SiH4
C. CH4
D. SiC

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