【名词&注释】
隔膜泵(diaphragm pump)、离心泵(centrifugal pump)、系统故障(system fault)、真空泵(vacuum pump)、屏蔽泵(canned motor pump)、齿轮泵(gear pump)、高转速(high speed)、输送泵(transfer pump)
[多选题]终聚真空系统故障的可能原因是()。
A. A、安全联锁 B. B、机电仪故障 C. C、真空泵故障 D. D、停电