干法腐蚀清洁、干净、无脱胶现象、图形精度和分辨率高。（）

【名词&注释】

水溶液(aqueous solution)、氢氟酸(hydrofluoric acid)

[判断题]干法腐蚀清洁、干净、无脱胶现象、图形精度和分辨率高。（）

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[单选题]腐蚀二氧化硅的水溶液一般是用（）

A. A、盐酸
B. B、硫酸
C. C、硝酸
D. D、氢氟酸

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