集成电路制造工艺员题库2022集成电路制造工艺员（三级）题库终极模考试题163

1. [单选题]二氧化硅生长过程中，当分凝系数小于1时，会使二氧化硅-硅界面处硅一侧的杂质浓度^{(impurity concentration)}（）。

A. 降低
B. 增加
C. 不变
D. 先降低后增加

2. [单选题]晶体中，每个原子在晶格中有一定的平衡位置，原子在此位置时其势能为（）。

A. 极大值
B. 极小值
C. 既不极大也不极小
D. 小于动能

3. [单选题]一般用（）测量注入的剂量。

A. 剂量分布仪
B. 剂量统计仪
C. 电荷分析仪
D. 电荷积分仪

4. [单选题]悬浮在空气中的颗粒称为（）。

A. 悬浮物
B. 尘埃
C. 污染颗粒
D. 浮质

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