【名词&注释】
智能机器人(intelligent robot)、工业机器人(industrial robot)、动机器人
[填空题]微细加工工艺方法主要有:(),光刻加工,体刻蚀加工技术,面刻蚀加工技术,LIGA技术,()和()。
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[单选题]工业机器人有多种分类方式,下列不属于按驱动方式分类的是()。
A. 气压传动机器人
B. 液压传动机器人
C. 电器传动机器人
D. 智能机器人
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