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表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度,习惯上常用

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    扩散系数(diffusion coefficient)、高纯水(high purity water)、绝缘体(insulator)、有机溶剂(organic solvent)、电子元件(electronic component)、钠离子(sodium ion)、场氧化层(field oxide)、高纯化学试剂

  • [单选题]表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度,习惯上常用()。

  • A. 分凝度
    B. 固溶度
    C. 分凝系数
    D. 扩散系数

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  • 学习资料:
  • [单选题]奉献社会的实质是()。
  • A. 获得社会的好评
    B. 尽社会义务
    C. 不要回报的付出
    D. 为人民服务

  • [多选题]解决氧化层中的钠离子(sodium ion)沾污的方法有()。
  • A. 加强工艺操作
    B. 加强人体和环境卫生
    C. 使用高纯化学试剂、高纯水和超净设备
    D. 采用HCl氧化工艺
    E. 硅片清洗后,要充分烘干,表面无水迹

  • [单选题]在IC芯片生长中浅沟槽隔离技术STI逐渐取代了局部氧化LOCOS所制成的()而成为相邻电子元件的绝缘体
  • A. 栅氧化层
    B. 沟槽
    C. 势垒
    D. 场氧化层(field oxide)

  • [多选题]清洁处理主要使用的是()。
  • A. 水
    B. 有机溶剂
    C. 碱
    D. 酸
    E. 盐酸

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