集成电路制造工艺员（三级）题库2022冲刺密卷答案+专家解析(05.14)

1. [多选题]下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

A. 投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高
B. 接触式的分辨率优于接近式
C. 接近式的分辨率受到衍射的影响
D. 投影式曝光系统中不会产生衍射现象
E. 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

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