【导读】
必典考网发布2022半导体芯片制造工题库半导体芯片制造中级工题库优质每日一练(10月13日),更多半导体芯片制造中级工题库的每日一练请访问必典考网半导体芯片制造工题库频道。
1. [多选题]硅外延生长工艺包括()。
A. 衬底制备 B. 原位HCl腐蚀 C. 生长温度,生长压力,生长速度 D. 尾气的处理
2. [单选题]离子注入层的杂质浓度主要取决于离子注入的()。
A. 能量 B. 剂量