坩埚挡板装偏了会导致漏料问题。

【名词&注释】

真空度(vacuum)、不稳定(unstable)、电子枪(electron gun)

[判断题]坩埚挡板装偏了会导致漏料问题。

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[多选题]下列哪些因素影响内外排的均匀性？（）

A. A、电子枪光斑的位置
B. B、电子枪光斑的形状、大小
C. C、真空度不稳定
D. D、修正板的形状和上升高度

[单选题]下列那个符号代表光控（）。

A. A、OPM
B. B、EB
C. C、MBP
D. D、PFC

[单选题]关门抽真空，一般当真空度抽到（）时开始自动预熔膜料。

A. A、1.5E-3Pa
B. B、5.0E-3Pa
C. C、2.0E-3Pa
D. D、5.0E-5Pa

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