在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能

【名词&注释】

热传导(heat conduction)、金属材料(metal materials)、离子计(iontoquantimeter)、真空计(vacuum gauge)

[单选题]在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。

A. 铜
B. 铝
C. 金
D. 二氧化硅

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学习资料：

[单选题]thermal conductivity gauge的意思是（）。

A. 离子计
B. 热传导真空计^{(vacuum gauge)}
C. 放电型真空计^{(vacuum gauge)}
D. 麦克劳式真空计^{(vacuum gauge)}

[单选题]硅-二氧化硅系统中含有的最主要而对器件稳定性影响最大的离子是（）。

A. 钠
B. 钾
C. 氢
D. 硼

[多选题]属于铝的性质有（）。

A. 电阻低
B. 抗电迁移特性好
C. 对硅氧化物有很好的黏合性
D. 有很高的纯度
E. 易于光刻

[多选题]为了满足半导体器件对金属材料的低电阻连接以及可靠的要求，金属材料应该满足（）。

A. 低电阻率
B. 易与p或n型硅形成欧姆接触
C. 可与硅或二氧化硅反应
D. 易于光刻
E. 便于进行键合

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