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半导体芯片制造工题库2022半导体芯片制造中级工题库考试试题及答案(8J)

来源： 必典考网    发布：2022-04-18     [手机版]    
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1. [多选题]硅外延生长工艺包括（）。

A. 衬底制备
B. 原位HCl腐蚀
C. 生长温度，生长压力，生长速度
D. 尾气的处理


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