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- 离子散射方向与入射方向的夹角,称为（）。化学气相沉积的英文名称的缩写为（）。金相学的研磨之所以会在研磨面上造成如刮伤般的痕迹是由于在制程中（）。复合床和混合床可以串联使用。复合床就是指将阳树脂和阴树脂
- 采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片（）的不希望有的物质。危害半导体工艺的典型金属杂质是（）。结
- 当二氧化硅膜很薄时,膜厚与时间（）。t2成正比
t2成反比
t成正比#
t成反比
- 涂胶之前,要保证晶片的质量以及涂胶工序的顺利进行,下列操作正确的是（）。下面那一种薄膜工艺中底材会被消耗（）。进行去水烘烤以保证晶片干燥#
在晶片表面涂上增粘剂以保证晶片黏附性好#
刚刚处理好的晶片应立即涂
- 一般分析扩散系数,考虑两种条件,即恒定表面浓度条件和（）。在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更适合应用在（）。恒定总掺杂剂量#
不恒定总掺杂剂量
恒定杂志浓度
不恒定杂志浓度晶圆顶层的保护层
多层金属的介
- 多晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对（）的高选择性。超薄的栅氧化层使得在刻蚀多晶硅电极时对栅氧化层的刻蚀要尽可能的小。二氧化硅#
氮化硅
单晶硅
多晶硅
- 铜与铝相比较,其性质有（）。铜的电阻率比铝小#
铝的熔点较高
铝的抗电迁移能力较弱#
铜与硅的接触电阻较小
铜可以在低温下淀积#
- 为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀,必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。多晶硅
单晶硅
铝硅铜合金#
铜
- 下列物质中是结晶形态二氧化硅的有（）。我们可以通过简单的结深测量和（）测量来获得扩散层的重要信息。引出系统要求能引出分散性较好的强束流,还希望具有较（）的气阻。静电偏转电极和静电扫描器都是（）电容器。
- 采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。二氧化硅层中的钠离子可能来源于（）。二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。目前,最广泛使用的退火方式是（）。为了防止抽
- 采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。光刻工艺中,脱水烘焙的最初温度是（）。结晶形态
非结晶形态#
可能是结晶形态的,也可能是非结晶形态的
以上都不对生长的二氧
- 局域网中使用中继器的作用是（）。干氧氧化法具备以下一系列的优点（）。一般用（）测量注入的剂量。（）专指薄膜形成的过程中,并不消耗晶片或底材的材质。沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片
- TCP/IP协议中的TCP相当于OSI中的（）。采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。为了解决中性束对注入均匀性的影响,可在系统中设有（）,使离子束偏转后再达到靶室。在半导体工艺中,与氮化硅比较,二氧化硅更
- dry vacuum pump的意思是（）。光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。下列有关曝光系统的说法正确的是（）。光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。分析器是一种（）分选器。在IC芯片生长中浅沟槽隔离技术STI逐渐取代
- thermal conductivity gauge的意思是（）。光刻胶主要由（）等不同材料混合而成的。在实际工作中,常常需要知道离子注入层内损伤量按（）的分布情况。离子束垂直进入均匀的正交磁场后,将同时受到电场力和（）的作用。
- point defect的意思是（）。为了解决中性束对注入均匀性的影响,可在系统中设有（）,使离子束偏转后再达到靶室。点缺陷#
线缺陷
面缺陷
缺失的点磁分析器
正交电磁场分析器
静电偏转电极#
束流分析仪
- 企业的战略一般由四个要素组成,即经营范围、资源配置、竞争优势以及协同合作,其中协同合作是指企业通过共同的努力达到（）。当二氧化硅膜很薄时,膜厚与时间（）。关于正胶和负胶的特点,下列说法正确的是（）。在深紫
- 奉献社会的实质是（）。He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s,这些元素称为（）。如果固体中的原子排列情况是紊乱的,就称之为（）。电荷积分仪的基本单元包括（）。离子注入装置的主要部件有
- 硅烷的分子式是（）。SiF4
SiH4#
CH4
SiC
- 下列哪些元素在硅中是快扩散元素：（）。Na#
B
P
As
- 在确定扩散率的实验中,扩散层电阻的测量可以用（）测量。下列哪些因素不会影响到显影效果的是（）。（）是指每个入射离子溅射出的靶原子数。SIMS技术
扩展电阻技术
微分电导率技术
四探针技术#显影液的温度
显影液的
- 采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。二氧化硅薄膜厚度的测量方法有（）。He,OH,Na等元素在900℃下,在二氧化硅中的扩散率大于10－13cm2/s,这些元素称为（）。电离气体与普通气体的不同之处在于：后者是
- 人类的职业道德真正形成于（）。采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。原始社会
奴隶社会#
封建社会
资本主义社会结晶形态
非结晶形态#
可能是结晶形态的,也可能是非结晶形态的
以上都不对
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