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下列可作为磷扩散源的是（）。
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采用热氧化方法制备的二氧化硅从结构上看是（）的。
对于浓度覆盖很宽的杂质原子，可以采用（）方法引入到硅片中。
晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使
人类的职业道德真正形成于（）。
下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有（）。
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早期，研究离子注入技术是用（）来进行的。
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